精密金属掩模量测设备


SOC260/10

SOC260系列量测设备用于新型显示AMOLED屏幕的制造,用于张网后精密金属掩模板的开孔位置精度(PPA,Pixel Position Accuracy)、开孔尺寸(CD,Critical Dimension)和平坦度(Flatness)等量测。
  产品特征

高量测精度

激光干涉仪和栅格校准技术保证了高精度量测结果。采用陶瓷横梁,有效降低了导轨垂向形变导致的量测误差。采用高精度调焦量测模块,实现了焦面的精确量测。采用高精度机差校正策略,可实现较小的量测机差。

高量测效率

采用气浮结构和反作用力消除结构,配合高速高精度工件台,缩短了量测时间。

工艺适应性强

光学量测系统中采用MVS机器视觉系统,可实现各种标记的对准和量测。照明方式包括同轴光、环形光和背光照明,可应对不同标记图形的量测工况。
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